六氟乙烷 / C2F6
5N5
20%氟氮 / 20%F2/N2
3N
八氟環丁烷 / C4F8
5N
六氟丁二烯 / C4F6
4N
三氟甲烷 / CHF3
二氟甲烷 / CH2F2
二氧化碳 / CO2
一氧化二氮 / N2O
6N