氟甲烷 / CH3F

4N

氦 / He

6N

丙烯 / C3H6

4N5

六氟乙烷 / C2F6

5N5

20%氟氮 / 20%F2/N2

3N

八氟環丁烷 / C4F8

5N

六氟丁二烯 / C4F6

4N

三氟甲烷 / CHF3

5N5

二氟甲烷 / CH2F2

5N5