フッ化メチル / CH3F

4N

ヘキサフルオロエタン / C2F6

5N5

20% フッ素窒素 / 20%F2/N2

3N

オクタフルオロシクロブタン / C4F8

5N

ヘキサフルオロブタジエン / C4F6

4N

トリフルオロメタン / CHF3

5N5

ジフルオロメタン / CH2F2

5N5